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【IWAKI易威奇】日本高精度真空泵,半导体制造的理想真空解决方案

时间: 2026-06-25 10:32:48 来源:杉本集团

IWAKI易威奇是一家日本专注于研发、生产和销售各类专业泵制造品牌,成立于1956年,总部位于日本。IWAKI易威奇主营磁力泵、真空泵、气动泵等化工泵及水处理控制器系列产品。IWAKI易威奇从1956年创立开始,不断研制推出多系列宽用途的新产品,至今已有500多个标准型号,从结构轻巧精密的OEM(设备配套)产品,到全球高级别的氟材质磁驱离心泵、定量添液泵和水质控制器,IWAKI易威奇品牌的系列泵广泛应用于化工、半导体、石化、环保、电镀、印刷电路板、造纸行业。

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深圳杉本集团是一家致力于提供齐全、优质、专业的MRO工业品综合服务商,可供应IWAKI易威奇的全系列产品,以下是IWAK相关产品介绍。

1.磁力泵

度耐用结构:球墨铸铁外壳增加了聚丙烯过流端的坚固性及耐用性,受应力最大的后壳由 FRP 补强罩加强,可承受最大压力达 1.0MPa,这也是聚丙烯磁力泵的一大优点。

后拉式构造:采用安全优先的设计,即使向后移开轴承支架进行检修,仍能确保介质完全密封在泵腔内部。此设计无需拆卸管道,即可完成维修和检查。

防异常运转的独特设计:AMP 系列具有非接触构造的设计,即使在吸入端偶有空气卷入,仍显示良好的稳定性。

非接触构造:AMP 系列具备卓越的耐异常运转特性。强磁力可防止磁囊与后止推环接触,进而避免因发热导致的部件熔化。与传统磁力驱动泵相比,AMP 系列泵对异常运行状态的耐受能力大幅提升。

2.半导体真空泵

高速冲程:提升泵的冲程速度 (最高达240 spm),让制造过程中,大大减少泵的尺寸、重量、成本,及降低脉动。

无污染设计:过流端零件均采用氟树脂材质,没有金属零件外露的设计,外壳采用氟树脂材质。使用独有的轴封,能显著降低颗粒的产生。

液体输送温度范围宽泛/高吐出压力:液体输送温度范围高达5 - 180°C,吐出压力高达45MPa。不仅适用于清洗和CMP制程,同时适用于化学液体供药。

3.齿轮泵

无轴封构造,确保无泄漏,理想的装置配套:通过磁耦合器传输动力的无轴封构造,解决了泄漏及轴封定期更换的问题。

优异的耐腐蚀性能:过流端采用 SUS316、PTFE、PPS 及 PEEK 等优质的耐腐蚀性材料,安全输送各种化学药液。

吐出压力高、真空度高:虽然外形小巧,但是其最高吐出压力达0.6MPa,最大真空度达5.3kPa。


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