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【HANBELL汉钟精机】真空泵:半导体产业链中的关键一环

时间: 2026-04-03 14:20:29 来源:杉本集团

上海汉钟精机股份有限公司(外文名:Shanghai Hanbell Precise Machinery Co.,Ltd.)成立于1998年1月7日,2007年8月17日在深交所上市,系外商投资上市的通用设备制造企业。HANBELL汉钟精机公司专注于螺杆真空泵与压缩机相关产品的研发、生产及销售,广泛应用于半导体、石油化工、中央空调等领域。

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近年来,HANBELL汉钟精机公司围绕螺杆、离心、涡旋、磁悬浮离心、气悬浮离心等技术深入布局,进一步推进磁悬浮离心产品、气悬浮离心产品、氢燃料电池空压泵等新产品的研发与转产,应用于数据中心、半导体、新能源等新兴领域,进一步巩固了其在流体机械技术上的全球领先地位。

1.PS系列干式螺杆真空泵

排气路径短,减少反应物沉积:干式螺旋真空泵相较于其他形式的真空泵,因气体于泵浦内的传输路径最短,最不易产生反应物沉积的现象。

线形密封性佳:转子密封线形,转子密封性佳,转子能以较大的啮合间隙达到更快的抽气效果。由于啮合间隙较大,泵浦较不易因制程气体沉积而卡死,转子也较不易因磨耗而需更换。

结构简单,故障率低,维修容易:螺旋式真空泵因只需利用一对转子互相啮合达到密封效果,结构上不像其他形式的真空泵需要有中间隔板的设计,降低转子与隔板沉积卡死的风险。且因其结构单纯,拆解维修也较容易,因此能缩短维修时程,降低维修费用。

2.PA META系列微油螺杆真空泵

采用IE4高效永磁电机直接驱动,极大的降低了功耗。

螺杆转子的使用寿命比叶片使用寿命显著延长,大幅延长了维护间隔时间。

采用新一代控制逻辑架构,拥有更加强大的控制功能,集远程起停、远程监控、多机连锁等一系列功能为一体的高效机组。

3.PX系列单级旋片真空泵

高品质油雾过滤器有效地解决油烟。

密封件采用氟橡胶,提升抗腐蚀性和解决漏油问题。

气镇设计,满足不同客户的真空度要求和水汽处理能力。





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