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企业的静电对策和除电-日本 SSD 西西蒂 企业除静电方案

时间: 2023-03-06 15:56:17 来源:杉本集团

离子发生器采取的对策

设备ESD(静电放电)损坏预防

半导体器件可能会被 ESD 和电场损坏。

*离子发生器衰减引起这种静电击穿的带电物体的电荷,抑制和减少ESD和强电场的发生。

*适用产品:对于此应用,需要具有良好离子平衡的产品,因此BF-X2ZB-V2和BF-2ZC适用于高频鼓风机类型。此外,长时间保持静电消除效果的HDC-AC方式的离子平衡为3V以下的BF-X2ME也适用。Zapp II 适用于微小零件和深部工件的静电消除。


减少细颗粒和灰尘对表面的污染

一种集成度高的半导体器件,是在晶圆上通过超精细加工而制成的。在晶圆加工过程中,由于耐热性、耐化学性、不产生粉尘等要求,很多采用特氟龙、石英等绝缘材料制成的治具。晶片和这些材料很容易摩擦带电以产生高电位。由于这种静电引起的电场影响,细小的颗粒被吸引到晶圆、光掩模等的表面,导致缺陷和故障。

*通过应用离子发生器,可以快速抑制和衰减产生的充电电位,从而减少这些障碍。

*适用产品:HDC-AC BF -XMB和BF-X2ME适用于此应用。Zapp II 适用于微小零件和深部工件的静电消除。BUA 等空气静电消除器适用于空气除尘。


防止微处理器和机器人因 EMI(电磁干扰)引起的故障

电磁波随着ESD的产生而产生。由于在制造过程中使用了许多配备微处理器的自动化运输设备,因此这种 EMI 会导致微处理器发生故障或异常停止。

*如果应用离子发生器来防止导致 EMI 的 ESD,则可以快速降低高电荷电势。

*适用产品:BF-X2ME和BF-X2DD-V2等HDC-AC鼓风机适用于此应用。Zapp II 适用于微小零件和深部工件的静电消除。

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改进产品处理

由于静电场的影响,带电的轻量部件和薄膜有可能相互粘附,排斥力会造成错位和粘附,导致搬运效率下降。

*离子发生器的应用降低了这些带电部件、材料、工具等的电势,并减少了电场的影响。

*适用产品:对于此应用,商用频率棒类型和HDC-AC 类型BF -X4MB是合适的。如果薄膜的宽度较大,则可以附上条形电极。BF-6MB型大型鼓风机也可能适用。Zapp II 适用于微小零件和深部工件的静电消除。


LCD品质提升

由于静电的影响,液晶制造过程中可能会出现缺陷。

*离子发生器的应用降低了这些带电部件、材料、工具等的电位,并减少了缺陷。

*适用产品对于此应用,中型HDC-AC 鼓风机BF-6MB是合适的。如果膜的宽度大,AC棒型电极或DC棒型电极也可能有效。



静电灾害对策及电离器(印刷业等一般产业相关)

提高油漆质量

由于静电的影响,在喷漆过程中可能会因灰尘的粘附而出现缺陷。

*离子发生器的应用降低了这些带电灰尘和工件的电位,并减少了由于灰尘附着引起的缺陷。

*适用产品:枪型AG-5、AGZⅢ、AGZⅡ-PA、HDC-AC鼓风机型、中型BF-6MB等均适用。但在防爆环境下使用时,只能使用经防爆认证的产品。


提高薄膜质量

由于静电的影响,灰尘和异物可能会粘附在胶片上。

*离子发生器的应用降低了这些带电灰尘和薄膜的电位,从而减少了由于灰尘粘附引起的缺陷。

*适用产品:对于此应用,吸尘器 H 型、HDC-AC 型鼓风机型、中型BF-6MB、商业频率型棒型等都是合适的。如果薄膜在高速行进时,消除静电的能力就会不足,因此需要请教专家。

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印刷、涂装过程中防止着火

静电会点燃印刷涂料。

*离子发生器的应用可以降低这些带电工件、薄膜等的电位,并降低着火的风险。

*适用产品:对于这种应用,商用频率棒类型是合适的。但在防爆环境下使用时,只能使用经防爆认证的产品。


零件供料器输送故障的预防

由于静电的影响,零件送料器中的工件会导致传送失败。

*离子发生器的应用可以降低这些带电工件的电位并降低运输失败的风险。

*适用产品:对于这种应用,小型高频型BF -SZAII、高频型ZappII 、商用频率型点型 BP 型等不喜欢强风,因此很适合。


容器内静电引起的异物附着

由于静电的影响,异物可能会粘附在容器内部。

*离子发生器的应用可以降低这些带电容器内部的电位并降低异物粘附的风险。

*适用产品:对于此应用,可将喷嘴插入容器的高频 Zapp II和商用频率 DK 型是合适的。特别是, Zapp II拥有多种喷嘴选项,从普通空气喷嘴选项到氮气喷嘴选项,可用于各种容器。


防止操作员不适并提高工作效率

由于接近带电物体引起的不适感,以及带电物体或工人自身的ESD电击引起的不适感,导致工作效率降低。由于与衣服的摩擦、鞋子与地板的摩擦等,人体会产生静电。此外,由于步行运动引起的电容变化,电势迅速上升。

*请勿以防止人体带电为目的使用离子发生器。换句话说,当必须佩戴手腕带和导电鞋等接地工具时,离子发生器不能作为这些接地工具的替代品。由于与衣服的摩擦、鞋子与地板的摩擦等原因,人体突然带电,并且由于行走过程中电容的变化,电位迅速升高。这是因为离子发生器产生的离子静电消除不能立即响应这种快速的电势变化。但是,电离器可有效中和工人周围的带电物体。通过衰减带电物体的电位并保持低电位,可以减少操作者接触带电物体时产生的触电和不适感,并提高工作效率。

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如何选择离子发生器

1、安装空间

2、物体移动速度

3、物体大小和距离

4、物体上产生的静电量

5、物体抗静电能力

6、离子发生器所需的离子平衡

7、风的影响和压缩空气的可用性

8、附近是否有可能受电离器影响的电子设备?


应在考虑以上情况后安装。上述中描述的选择方法只是一个大概,需要静电消除的地方的环境各不相同,所以专家的建议是必不可少的。


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