利用日本●橡胶薄膜（隔膜）的往返运动进行排气的真空泵。●接气部不使用油、水等的干真空泵。内置了热保护器，也考虑到了安全方面。●结构简单，维护也容易。●吸附输送、吸附固定、真空镊子。●分析机器、理化学机器。●半导体检查装置。●设备组装。●自动机、包装机。●排气速度（L/min）50/60Hz：180/210●到达压力（Pa）：3.3×10〔〔〔〔3乘〕〕●吸气口径（mm）：21●电源（V）：三相200●噪声值（dB）：-●全宽×全长×全高（mm）：388×523.6×274●尺寸（mm）：388×523.6×274●到达压力（KPa）：3.3●吸排气管直径（mm）：O.D.φ21×I.D.φ15（G1/2）●最大尺寸（mm）：388×523.6×523.6×274●尺寸（mm）：388×523.6×523.6×274×到达压力（KPa（W）×523.6（L）×274(H)0
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