利用日本●橡胶薄膜（隔膜）的往返运动进行排气的真空泵。●接气部不使用油、水等的干真空泵。内置了热保护器，也考虑到了安全方面。●结构简单，维护也容易。●吸附输送、吸附固定、真空镊子。●分析机器、理化学机器。●半导体检查装置。●设备组装。●自动机、包装机。●排气速度（L/min）50/60Hz：12/15●到达压力（Pa）：6.65×10〔〔〔3次方〕●吸气口径（mm）：9●电源（V）：单相100●噪声值（dB）：-●全宽×全长×全高（mm）：132×203×182.0●尺寸（mm）：132×203×182.0●电源：单相100V●从一台不同电压对应（DAL-181D/DAL-361S除外）●低速低压用0
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