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日本SIMCO DS5630离子棒:高效消除静电的静电消除设备

时间: 2024-01-12 17:40:11 来源:杉本集团

产品型号:“日本SIMCO思美高 离子棒 DS5630”,这是一款由日本的SIMCO公司生产的静电消除设备,SIMCO在中国国内的品牌名称是“思美高”,这款产品是一种高性能的离子棒,专门设计用于FPD和半导体后端应用,可以快速消除静电,降低电压波动,提高平衡精度。

产品的特点有以下几点:

  • 采用调制脉冲技术,结合高频正弦波和调制脉冲,产生高效的离子输出和传输。

  • 使用单晶硅发射点,具有超高的清洁度,符合ISO 14644-12标准(0.01微米颗粒或纳米颗粒)和ISO 14644 Class 1标准(0.1微米颗粒)。

  • 具有优异的横向均匀性,低场电压,可靠的自动平衡系统。

  • 可选的气辅功能,可以加速离子传输,提高消除速度和距离。

  • 可通过软件进行简单的界面调节,调整电压,频率和平衡,以适应不同的环境和产品敏感性需求。

  • 具有报警输出信号,可以与工具或设施监控系统通信。

产品的规格有以下几点:

输入电压

24 VDC ± 10%

输出电压

13.5 kV p-p (最大), 可调节

距离

150 - 1000 毫米距离表面; 应用和客户规格相关

频率

默认设置为 5 Hz; 可从 1-33 Hz 调节

平衡

自动平衡系统 <±20V 随时间和棒长度变化 (在控制环境下,24英寸距离测量)

离子发射

调制脉冲 (MP) 技术

发射点

单晶硅发射点

发射点间距

喷嘴间距50毫米或75毫米; 450毫米和600毫米长度仅有50毫米间距

气源

清洁干燥空气 (CDA) 或氮气

气流

45 psi 最大气压; 每个喷嘴1-3.5 lpm 通过8毫米OD一键式接头 (可选)

离子化性能

15秒 (典型) 无气辅助, Vp-p 波动80 Vp-p; 测量于发射点中心群下方24英寸处

清洁度

符合 ISO 14644-12 清洁度 (0.01 µm 颗粒或纳米颗粒) 和 ISO 14644 Class 1 (0.1 µm 颗粒) 使用 45-50% 臭氧 < 0.05 ppm

EMI

低于背景水平

操作环境温度

15-35ºC (59-95ºF); 湿度 30-60% RH, 非冷凝

产品的优势劣势是以下几点:

  • 优势:高效消除静电,提高产品质量和生产效率;适用于各种尺寸和形状的静电敏感物体;可调节性强,易于安装和优化;清洁度高,符合最新的技术节点要求。

  • 劣势:价格较高,需要定期清洁和维护;对电源和气源的稳定性要求较高;在高温或高湿度的环境下可能性能下降。

产品应该如何使用:

  • 根据需要选择合适的长度和发射点间距的离子棒,安装在静电敏感物体的上方或旁边,距离物体表面150-1000毫米。

  • 连接电源和气源,调节电压,频率和平衡,使离子棒产生足够的离子输出和传输。

  • 开启气辅功能(可选),加速离子传输,提高消除速度和距离。

  • 定期检查离子棒的工作状态,清洁和更换发射点,保持离子棒的高效性能。

还有哪些型号和它类似:

  • 日本SIMCO思美高 离子棒 DS5635,是一款专门设计用于半导体和其他超洁净制造过程的离子棒,具有更高的清洁度和更密集的发射点间距。

  • 日本SIMCO思美高 离子棒 DS5636,是一款专门设计用于FPD和半导体前端应用的离子棒,具有更高的离子输出和传输,以及更低的臭氧产生。

  • 日本SIMCO思美高 离子棒 DS5637,是一款专门设计用于半导体和其他超洁净制造过程的离子棒,具有更高的清洁度和更密集的发射点间距,以及更低的臭氧产生。

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