标准压力:以大气压为标准表示的压力大小。大于大气压的叫正压;小于大气压的叫负压。
差压(压差):两个压力之间的相对差值。
绝对压力(A):以绝对真空为标准表示的压力大小。
相对压力(表压力)(G):相对于标准压力而言。表压力=绝对压力-大气压
大气压:指地球表面上的空气柱因重力而产生的压力。它和所处的海拔高度、纬度及气象状况有关。1标准大气压(1atm)相当于高度为760mm水银柱的压力。
真空:指低于大气压的压力状态。1Torr=1/760气压(atm)。
压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量重,不能提供电学输出。随着半导体技术的发展,半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展,半导体传感器向着微型化发展,而且其功耗小、可靠性高。
半导体压电阻型压力传感器
半导体压电阻抗扩散压力传感器是在薄片表面形成半导体变形压力,通过外力(压力)使薄片变形而产生压电阻抗效果,从而使阻抗的变化转换成电信号。
静电容量型压力传感器
静电容量型压力传感器,是将玻璃的固定极和硅的可动极相对而形成电容,将通过外力(压力)使可动极变形所产生的静电容量的变化转换成电气信号。
(E8Y的动作原理便是静电容量方式,其他机种采用半导体方式)。
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