MEMS压力传感器是具有电源、接口电路、执行器、微型传感器和信号处理的微型的机电系统。它可以使用在制作工艺和电路设计上，低成本而高精度地进行大量的生产。其实传统的压力传感器是在当金属弹性体受到外力的作用而导致变形的时候，经过机械量的弹性的变形，然后待电量转换之后再输出，因此，MEMS压力传感器的优越性有很多，尺寸很小，性价比很高。它主要分为两种：硅电容式和硅压阻式。

　　根据MEMS的有关技术，制造出电容式传感器的形状为横隔栅状的，上面跟下面的两根横隔栅就可以组成一组传感器。当上横隔栅受到压力作用的时候，就会向下移动，接着，就会使上面跟下面的两根横隔栅之间的距离发生改变，换句话说，板之间的电容量就会发生变化。

　　硅压阻式压力传感器使用了精密度很高的半导体电阻应变片来形成惠更斯电桥，这样就可以利用它来作为力电变换来测量有关的电路。它的成本较低、功耗较低、测量的精密度较高。这种传感器，如果压力没有发生变化，那么它的输出就为零，所以几乎是不需要耗电的。

　　而MEMS硅压阻式压力传感器就是应用了四周的固定、形状为圆形的应力杯硅薄膜的内壁，同时应用MEMS的有关技术，可以直接地把四个精密度高的半导体应变片直接地刻制到它的表层应力最大的地方，这样就可以形成惠更斯电桥，因此可以作为力电变换来测量电路了，这是直接地把压力转换成为电量而测量的。

　　MEMS压力传感器的应用

　　MEMS压力传感器的应用非常广泛，工业电子：工业配料称重、数字流量表以及数字压力表等等。消费电子：太阳能热水器用液位控制压力传感器、洗碗机、饮水机、洗衣机、空调压力传感器，微波炉、健康秤以及血压计等等。汽车电子：柴油机的共轨压力传感器、汽车发动机的进气歧管压力传感器、汽车刹车系统的空气压力传感器以及发动机的机油压力传感器等等。