力敏传感器在压力测量中的应用
被测介质的压力测量总是相对于某一参考压力而言,参考压力为大气压时,称为表压或负压,高于大气压时为表压,低于大气压时为负压,例如说表压150KPa是指比大气压高150KPa,负压70KPa是指比大气压低70KPa。参考压为真空时称为绝压。
参考压力是任何密封空间中的压力时称为密封压。硅基力敏传感器用于压力测量场合甚广,如工业自动化仪表中的压力变送器、汽车仪表中的压力检测和控制、大气环境检测中的真空检测等压力测量。其产品可参考HB2119系列硅压阻低、中、高量程压力传感器,HB2119-S系列SOI硅压阻低、中、高量程压力传感器,HB2135系列专用型硅压阻压力传感器等产品。
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